儀器機櫃

規格：

內容描述：
專為客戶現有儀器(ParticleCounter)所客製的櫃體，搭配其運作功能配置管路、流量計、濾心及其他功能空間，並與廠區其他設備進行連接。

－SUS骨架 / IPP外構
－機櫃內外部GPP、PP、PFA配管
－氣體流量控制組件
－氣體過濾器 0.003um
－客製乾燥桶
－溢流水槽