氣泡除去機

本機可對半導體、光罩、平面顯示器 (FPD)等製造工廠之濕製程以及化學品供給產生的氣泡及泵浦脈動引發的各種問題,提供最佳解決方案。
如果將氣泡除去機配置到濕製程設備中,可有效去除氣泡並減輕氣泵脈動。同時,也能有效地在本機內發揮混合流體的作用。
DETAIL
 型錄 下載
I.概説

スーパーバブルカッター(以下、本機と呼ぶ)は佐藤樹脂工業株式会社の独自特許技術に基づいて設計、製造されています。本機は半導体、マスクおよびフラットパネルディスプレイ(FPD)等の製造工場でのウエットプロセスおよび薬液供給などで気泡やポンプの脈動が原因で起きている諸問題に対して、最良の解決策を提供します。
ウエットプロセス機器にスーパーバブルカッターを組込めば、気泡の除去およびエアードポンプの脈動の緩和で、劇的な効果が期待できます。又、本機内での流体のミキシングにも効果が期待できます。

 II.仕様
   1.    標準本体の材質:PTFE(全てPTFE製です。金属部品やスプリングは一切使っていません。)
   2.    本機ご注文の際は必ず流体と粘度をご指定ください。
          指定した流体以外での使用は出来ません。(性能が著しく損なわれます。)
          ご注文後の流体変更はお受け出来ませんし、又、返品もお受け出来ません。
   3.    本機ご注文の際は必ず流体と温度をご指定ください。
          指定した温度以外での使用は出来ません。(性能が著しく損なわれます。)
          特殊環境(高温・低温)でのご使用については必ず試験確認の上ご選定ください(PTFEフッ素樹脂メーカー)。
   4.    本機ご注文の際は必ず流量とポンプの種類をご指定ください。
          指定した以外での使用は出来ません。(性能が著しく損なわれます。)
   5.    本機ご注文の際は現在使われている配管材質と配管径をご指定ください。
   6.    本機ご注文の際は必ず循環方式/廃液方式/又はその他のシステムをお知らせください。
   7.    上記項目1〜6についてはご注文の際、必ずご指定ください。(応用分野が食品等の場合は別途ご相談)
   8.    本機は細部調節後完全密封して完成品としていますので、分解や改造は出来ません。
   9.    本機は[IN][OUT][EXH]を確認の上、接続してください。
        [EXH]は廃液タンクか循環タンク又は処理槽等に確実に入れてください。

     注1  [EXH]は<+/―圧力のかかる>場所には絶対に接続出来ません。
     注2   排気ダクトや排水管にも接続しないでください。

10.    本機には逆止弁と同等の機能をする部品が内蔵されていますが、長時間運転を停止する場合、本機の[EXH]と[IN]又は[OUT] 
         側にエアーオペレイトバルブを運転の「ON」/「OFF」と連動させ、本機内部を密封させてください。
11.    本機を循環配管に使用する際に、使用温度が80℃を超える場合は、保護カバーの設置をお願いします。
          又、使用液が強酸、強アルカリの場合にも保護カバーの設置をお願いします。
12.    本機の接続はフイルター通過後に取付けてください。(一般的)
13.    本機の接続口より内部に物を差し入れたり、異物が混入すると破損します。
14.    本機に強い衝撃を与えたり、落下させると破損します。
15.    ご使用の流体に、流量が変動するおそれのある場合は、本機の[OUT]側にバルブを取付けて調整したりすることにより、本機性能
         をより発揮することが出来ます。
16.    本機の[IN][OUT][EXH]の取り出し口はチューブ出しが標準となっております。
17.    小流量・間欠吐出でご使用の場合は、EXHより逆流する恐れもあり防止対策のため[EXH]にエアーオペバルブを取付けてください。
18.    特注品として継手出仕様もご用意できます。
  • 本機との配管接続継手は当社指定の型式のものを別途購入願います。
  • 本機の標準材質はPTFEですが、他の材質についてもご相談ください。
  • 本機内蔵薬液供給ユニットについてもご相談ください。
  • 特注品も製作します、特別仕様の場合はお問合せください。
  • 本機保護カバーも特注品にてご相談ください。
  • 他の管材、チューブ管・継手類もご相談ください。
  • 本機取付け工事についてもご相談ください。
      (図2)スーパーバブルカッター本体寸法表
                                                                        
  チューブ取出しの本体寸法表(標準)
     
  • G/H/I /のチューブサイズはΦmmでの製作も可能ですので、別紙の質問表にご記入ください。
  • 本機固定用タップ穴Kは、SS-1、SS-2については2ヶ所、他モデルは4ヶ所。
  継手出しの本体寸法表(オプション)
   
  • L寸法は G/H/I各部共通です。
  • 上記寸法表は予告なく変更することがあります。
  • 上記の機種別参考流量表は純水仕様に限ります。
  • 尚、流体毎に必ず別紙のスーパーバブルカッター見積り用質問表にお答えください。
  • スーパーバブルカッターは全て受注生産となっております。
  • その他、特大流量も承りますので、ご相談ください
    (図3)スーパーバブルカッターの取り付け固定治具 参考例